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CCQ氣動超高真空插板閥 產品說明
本發明涉及玻璃真空鍍膜技術領域，特別涉及一種真空系統用的真空插板閥。超高真空插板閥是通過手柄以螺桿傳動推動鋼球架運動，撐開閥板關閉，又靠彈簧力收攏閥板，打開后再退出的真空閥門。閥門適用于超高真空系統中接通或截止氣流之用。

　　適用的工作介質為潔凈的空氣和非腐蝕性氣體。是通過電磁換向閥改變氣路方向，控制執行氣缸驅動閥板作上下運動，達到閥門的開啟或關閉。閥門用于接通或切斷真空管路中的氣流。適用介質為純凈空氣和非腐蝕性氣體。

CCQ氣動超高真空插板閥背景技術：

用于玻璃鍍膜工藝的真空設備中，真空插板閥是任意兩個相鄰真空室之間必不可少的組成部件，其作用是當需要對單個真空室進行維護或者在單個真空室內更換材料時， 將相鄰兩個真空室隔絕，使真空室內的真空氣氛不被破壞。 此閥門為氣動驅動方式，在結構設計上合理，在外形上美觀，并具有動作平穩、體積小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優點，能廣泛應用于超高真空設備中。閥門以壓縮空氣推動氣缸，通過傳動桿推（拉）動連桿機構，帶著驅動體沿軸向運動，驅動體通過擺桿或鋼珠與閥板連接，完成閥板開啟及關閉動作。閥門的介質為空氣及非腐蝕性氣體。

 二、CCQ氣動超高真空插板閥特點

軸封有波紋管密封和氟橡膠密封兩種可選擇，其它密封件為氟橡膠，無潤滑劑設計；

閥體采用不銹鋼內部焊接，漏率小；

 閥體采用加強筋結構，體積小、重量輕，外形美觀；

采用雙導軌軸承滾輪機構，運動平穩；閥板整體式結構，支撐力均勻。

目前常用的真空插板閥為翻板式結構，即在真空室內的工件通孔處設置真空插板閥，該真空插板閥主要為一個擋板，擋板頂部與真空室內的頂面鉸接，當真空插板閥關閉時，擋板下翻，其側面擋住工件通孔而實現密封，當真空插板閥打開時，擋板貼緊于真空室內的頂面。然而，該結構的真空插板閥由于擋板采用翻轉式，所占的空間較大，真空插板閥關閉時由于擋板靠自重擋住工件通孔，擋板底部沒有相應的固定機構，其密封效果不好；另外，該結構的真空插板閥必須設于真空室內部，其加工難度大，擋板易變形，日常的維護也相當困難。該結構的真空閥克服了傳統真空插板閥氣密性差的缺陷，但其結構復雜，各組成部件之間精度要求較高，因此其成本也較高。

主要技術性能

CCQ氣動超高真空插板閥主要零件材料
 閥體、閥板：不銹鋼
密封件：氟橡膠、波紋管(軸封)、丁腈橡膠。

CCQ氣動超高真空插板閥外形及連接尺寸

真空系統用的真空插板閥，其特征在于，包括驅動元件、閥體、閥芯和下清潔蓋板，閥體為中空的長方體結構，閥體的左右兩側壁分別與位于其兩側的真空室固定連接，閥體的左右兩側壁上分別開有閥體通孔，閥體通孔與位于閥體兩側的真空室內的工件通孔相通， 閥芯設于閥體內部，驅動元件末端穿過閥體頂部并與閥芯頂部固定連接，下清潔蓋板設于閥體底部。

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