半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室CGA350氣體減壓器應(yīng)用案例

在半導(dǎo)體、光伏、實(shí)驗(yàn)室、科研等領(lǐng)域中，特氣系統(tǒng)是的，而特氣系統(tǒng)又是由各種氣體裝置構(gòu)成。通常所使用的氣瓶氣罐容器所貯存的氣體壓力高達(dá)15MPa左右，這種高壓氣體分道充填于管路系統(tǒng)中，遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出了使用壓力范圍，這時(shí)候，我們 就需要減壓器。減壓器能使輸入的高壓氣體減弱到實(shí)際應(yīng)用的壓力范圍，以便制程正常應(yīng)用。

01 半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室CGA350氣體減壓器應(yīng)用案例 氣體的介質(zhì)和純凈度

關(guān)于氣體純度，通常情況下，如果氣體是5個(gè)9，我們會(huì)推薦使用不銹鋼材質(zhì)。如果大于5個(gè)9，我們會(huì)推薦使用EP級(jí)不銹鋼材質(zhì)。這都是在考慮到氣體介質(zhì)和材料的兼容性基礎(chǔ)上進(jìn)行選擇。我們經(jīng)常碰到，很多用戶對(duì)減壓器的價(jià)格抱有疑惑，今天我們列舉了眾多用戶關(guān)心的。
大流量不銹鋼減壓器，采用活塞式減壓結(jié)構(gòu)，輸出壓力穩(wěn)定，主要應(yīng)用于輸出壓力高，使用流量又的場(chǎng)合，*大輸入壓力可達(dá) 6000PSi，*高輸出壓力可達(dá)4000Psi。由于鋼瓶?jī)?nèi)的壓力較高，而現(xiàn)場(chǎng)氣焊和切割所需的壓力較低，因此需要使用減壓器將鋼瓶?jī)?nèi)儲(chǔ)存的高壓氣體減少為低壓氣體，并確保所需的工作壓力從始至終保持穩(wěn)定�？傊�，減壓器是一種將高壓氣體減壓為低壓氣體并保持輸出氣體壓力和流量穩(wěn)定的控制裝置。

半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室CGA350氣體減壓器應(yīng)用案例 減壓器的一些分類：

1.介質(zhì)：氧氣減壓器、乙炔減壓器、氮?dú)鉁p壓器、空氣減壓器、氬氣減壓器、氫氣減壓器、氦減壓器、二氧化碳減壓器、丙烷減壓器、天然氣減壓器和具有腐蝕性的不銹鋼減壓器，

2、功能：也可分為集中型和項(xiàng)目型；根據(jù)結(jié)構(gòu)的不同，可分為單級(jí)和兩級(jí)兩種類型。

3.工作原理：分為兩種類型：正作用型和反作用型。目前，國(guó)內(nèi)常用的壓力調(diào)節(jié)器有單級(jí)反應(yīng)型和兩級(jí)混合型（級(jí)為正作用式、第二級(jí)為反作用式）。

半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室CGA350氣體減壓器應(yīng)用案例

半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室CGA350氣體減壓器應(yīng)用案例結(jié)構(gòu)特點(diǎn) Features
         活塞式減壓結(jié)構(gòu)
         *大輸入壓力：6000PSi
         *大輸出壓力：4000PSi
         母體螺紋：3/4” NPT(F)
         安全壓力：1.5 倍的*大輸入壓力
         適用溫度：-40°C 至74°C (-40°F 至165°F)
         內(nèi)泄漏率：2 x 10-8 atm.cc/sec He
         CV 值：2.0
         重量：4.8 kg
         有面板和底板兩種安裝方式
 
半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室CGA350氣體減壓器應(yīng)用案例材質(zhì) Materials
         母體：316L
           閥座：PCTFE，Vespel
         活塞：316L
適用范圍 Typical Applications
         氣體分析測(cè)試
         實(shí)驗(yàn)室
         石油化學(xué)工業(yè)
         電廠設(shè)備

1. 半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室CGA350氣體減壓器應(yīng)用案例為什么價(jià)格相差巨大?

舉個(gè)常見(jiàn)的情況來(lái)說(shuō)，同樣是接在鋼瓶上用的氮?dú)鉁p壓器，同樣的功能，不同的廠商的售價(jià)從幾十元到上千元的都有，這個(gè)價(jià)格相差之大，著實(shí)讓行外人驚訝，在購(gòu)買，詢價(jià)時(shí)這其中的價(jià)差的”秘密“你或許會(huì)知道一點(diǎn)，但是可能只是冰山一角，下面我們來(lái)探究一下這座冰山的全貌。

(1) 材質(zhì)原因：

氣體減壓器主要分為黃銅材質(zhì)和不銹鋼材質(zhì)兩種，不銹鋼系列價(jià)格遠(yuǎn)高于黃銅，很多人會(huì)奇怪銅材明明貴于不銹鋼為什么價(jià)格反而便宜，這其中主要是因?yàn)椴讳P鋼減壓器的加工成本遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于銅材質(zhì)減壓器的加工成本。

溫馨提示：不銹鋼系列因?yàn)榧庸すに嚭筒馁|(zhì)原因可以使用于一些腐蝕性氣體場(chǎng)合、潔凈要求高的場(chǎng)合以及一些色譜、質(zhì)譜、液相、原子吸收等儀器設(shè)備搭配使用，為客戶能夠提供更穩(wěn)定和更潔凈的使用要求。

（2）品牌加成

減壓器廠商品牌有高低之分，運(yùn)營(yíng)成本以及整體品質(zhì)把控成本增加體現(xiàn)在了產(chǎn)品單價(jià)上。

（3）服務(wù)原因

優(yōu)質(zhì)的公司無(wú)論何時(shí)何地都提供咨詢、選型和技術(shù)支持，這些服務(wù)或多或少一部分體現(xiàn)在了公司整體素質(zhì)和產(chǎn)品價(jià)格上。

2. 半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室CGA350氣體減壓器應(yīng)用案例關(guān)于減壓器實(shí)際耐壓范圍和安全問(wèn)題

無(wú)論是銅材質(zhì)減壓器還是不銹鋼減壓器，它們的母體材料都是由棒料車出來(lái)，接頭也是，因此耐壓都能力非常的好，我們國(guó)內(nèi)常用鋼瓶壓力以氮?dú)�、氧氣瓶為例，瓶�(jī)?nèi)壓力一般為12-15mpa左右，承受這個(gè)壓力是沒(méi)有問(wèn)題的，而不銹鋼*高可承受40mpa（6000psig）的壓力，而在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上采用不銹鋼金屬膜片密封結(jié)構(gòu)，上下蓋閥體采用防老化硬密封形式，采用特殊螺紋鎖住，深錐度螺紋進(jìn)一步確保安全，閥體上蓋部分的細(xì)孔可以間接告訴使用者閥芯是否漏氣，間接提醒使用者注意使用情況，從設(shè)計(jì)上再一次加強(qiáng)了使用安全。

3. 半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室CGA350氣體減壓器應(yīng)用案例關(guān)于減壓器使用年限和更換問(wèn)題

在規(guī)范使用無(wú)人為破壞的情況下，銅材質(zhì)的減壓閥一般為一年左右（閥內(nèi)有橡膠材質(zhì)配件，會(huì)老化同時(shí)受溫度溫差影響）。

排除人為損壞和氣體雜質(zhì)堆積影響下，不銹鋼材質(zhì)的減壓器一般長(zhǎng)達(dá)兩年以上，而裝在減壓器上的壓力表一般根據(jù)CMC計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)和計(jì)量局檢驗(yàn)建議有效期為一年，但是并不意味著壓力表到了一年時(shí)間就要更換，可依據(jù)使用方實(shí)際情況而定。

了解了以上內(nèi)容，你認(rèn)為你已經(jīng)足夠了解減壓閥了，可以為你的特氣系統(tǒng)選擇到合適的減壓器嗎？

不，遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠。選擇合適的減壓器，我們還需要以下幾個(gè)數(shù)據(jù)：

氣體的介質(zhì)和純凈度

關(guān)于氣體純度，通常情況下，如果氣體是5個(gè)9，我們會(huì)推薦使用不銹鋼材質(zhì)。如果大于5個(gè)9，我們會(huì)推薦使用EP級(jí)不銹鋼材質(zhì)。這都是在考慮到氣體介質(zhì)和材料的兼容性基礎(chǔ)上進(jìn)行選擇。

制程需要的流量

要知道自己需要的流量，因?yàn)闇p壓器的流量，和壓力是有直接關(guān)系的！所以要知道減壓器的CV值。很多時(shí)候，客戶后面設(shè)備一開(kāi)，輸出壓力表會(huì)下來(lái)很多，甚至直接下降到0位，這就是明顯的減壓器流量選小了。

還有剛開(kāi)始使用流量是夠的，后來(lái)不夠了，那是因?yàn)檫M(jìn)氣壓力下降了，流量變小了。減壓器后的管道排空或者帶壓，流量都是不一樣的。所以計(jì)算流量的時(shí)候，要考慮到這些因素，要考慮條件下的流量。另外，不同氣體，分子密度不同，計(jì)算流量的參數(shù)也不一樣。

關(guān)于接口

通常情況下，接口的流量通過(guò)能力，要大于閥芯的通過(guò)能力。所以，轉(zhuǎn)接口，或者擴(kuò)展接口，都要考慮到流量問(wèn)題，還有壓力問(wèn)題。接口也有多種規(guī)格，多個(gè)尺寸，有螺紋，卡套，焊接，VCR，法蘭等，這些都需要考慮到，確認(rèn)清楚。

還要考慮到拆卸方便；安裝方便，焊接的還要考慮耐溫，接頭承壓能力的情況等等；還有就是要考慮到進(jìn)出氣方向，這點(diǎn)很多人會(huì)忽略，考慮不到。

進(jìn)出壓力

減壓器讀數(shù)范圍，應(yīng)該是在壓力表滿量程的1/3到2/3之間，這時(shí)候數(shù)值是*合適的，太大了的話，壓力表容易疲勞損壞；壓力太小了，又不太容易調(diào)整和讀。壓力還分靜態(tài)壓力和動(dòng)態(tài)壓力，如果靜態(tài)壓力和動(dòng)態(tài)壓力差太多，那就是流量選擇有問(wèn)題，理想情況是動(dòng)態(tài)和靜態(tài)差別不大。

安裝方式

安裝方式是非常重要的，這個(gè)要十分注意。首先減壓器尺寸，安裝位置確認(rèn)清楚，面板安裝，底座安裝，管道支架安裝，箱體安裝等等。經(jīng)常在安裝過(guò)程中，遇到各種尺寸問(wèn)題，事先都沒(méi)考慮到，極容易出現(xiàn)束手無(wú)策。精確的安裝，可以預(yù)先三維圖模擬組裝一下。

減壓器是否帶壓力表

減壓器是否帶壓力表，帶幾個(gè)壓力表，這都和設(shè)計(jì)方案有關(guān)系！通常接鋼瓶的，需要帶進(jìn)出氣壓力表（高壓顯示鋼瓶氣體壓力，低壓顯示使用壓力），通常，接鋼瓶的減壓器，出口*好加一個(gè)開(kāi)關(guān)閥，這樣更方便使用者操作。接管道的，高壓部分可以帶進(jìn)出氣壓力表，末端減壓器可以只帶出氣壓力表。集成面板的，減壓器可以不帶壓力表，根據(jù)方案來(lái)，壓力表單獨(dú)分布，考慮全面即可。,將氣體鋼瓶中的高壓氣體減壓至實(shí)驗(yàn)及工況所需的低壓氣體壓力，再經(jīng)過(guò)二級(jí)減壓閥及其他控制閥配合，使終端設(shè)備獲得持續(xù)穩(wěn)定的氣體供應(yīng)。
 

半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室CGA350氣體減壓器應(yīng)用案例減壓閥安裝順序
1、安裝減壓閥時(shí)應(yīng)確定其連接規(guī)格是否與鋼瓶和使用系統(tǒng)的接頭相一致。減壓閥與鋼瓶采用半球面連接，靠旋緊螺母使二者吻合。因此，在使用時(shí)，應(yīng)保持兩個(gè)半球面的光潔，以確保良好的氣密效果。安裝前可用高壓氣體吹除灰塵。必要時(shí)也可用聚四氟乙烯等材料作墊圈。
2、緩慢打開(kāi)鋼瓶瓶閥，切勿瞬間打開(kāi)瓶閥！開(kāi)啟瓶閥時(shí)，瓶閥的出氣口不準(zhǔn)對(duì)著人。同時(shí)，操作者必須站在瓶閥的側(cè)面，不能站在正面和后面。緩慢開(kāi)啟后測(cè)試鋼瓶接頭是否產(chǎn)生泄露，順時(shí)針擰動(dòng)手輪調(diào)節(jié)絲桿，推動(dòng)彈簧、膜片，將閥芯打開(kāi)，高壓腔內(nèi)氣體經(jīng)過(guò)節(jié)流減壓達(dá)到客戶所需壓力。膜片采用Hastelloy C276材質(zhì)，其閥芯采用一體式設(shè)計(jì)方便后期維護(hù)。
3、減壓閥都裝有泄壓閥。它是保護(hù)減壓閥并使之安全使用的裝置，也是減壓閥產(chǎn)生故障的信號(hào)裝置。假如因?yàn)殚y芯或其它原因，導(dǎo)致出口壓力自行上升并超過(guò)一定許可值時(shí)，泄壓閥會(huì)自動(dòng)打開(kāi)排氣。
4、停止用氣時(shí)，應(yīng)將減壓閥中余氣放凈，然后擰松調(diào)節(jié)螺桿以免彈性元件長(zhǎng)久受壓變形。
用氣人員必須做到遵守國(guó)家所有的關(guān)于壓縮氣體和低溫液體的儲(chǔ)存、使用和處理的法規(guī)。如果用氣人員對(duì)特定氣體相關(guān)屬性及危險(xiǎn)不夠熟悉，則務(wù)必請(qǐng)與供應(yīng)商聯(lián)系，以得到補(bǔ)充資料，確保能夠安全操作。